Ionenstrahlsynthese einkristalliner CoSi 2 -Schichten in Si und deren elektrische und strukturelle Charakterisierung
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
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| Beschreibung: | Köln, Univ., Diss., 1993. - Auch als: Berichte des Kernforschungszentrums Jülich, Jül 2738. |
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| Beschreibung: | 128 S. Ill., graph. Darst. |