Synthese von photoaktiven Verbindungen für die Mikrolithographie

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Beck, Jürgen Ernst (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1993
Schlagworte:	Fotochemie Photoresist Fotolithografie > Halbleitertechnologie Chemische Synthese Hochschulschrift
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