Direktschreibende Elektronenstrahllithographie

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Engl, Walter L. (VerfasserIn), Beets, Dirk (VerfasserIn), Schulte, Hans-Rainer (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1985
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schlagworte:	Elektronenstrahllithografie Digitale Signalverarbeitung
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