Ein Beitrag zur automatischen Markenerkennung in der Elektronenstrahl-Lithographie
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1981
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Aachen, Techn. Hochsch., Diss. |
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| Beschreibung: | III, 136 S. Ill., graph. Darst. |