Passivierung von Si-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Schulz, Max 1939- (VerfasserIn), Fahrner, Wolfgang 1945- (VerfasserIn), Blaha, Richard (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Eggenstein Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1977
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. 1978,23=Elektronik.
Schlagworte:	Thyristor Elektronisches Bauelement Silicium Oxidation Passivierung
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