Aufbauvorgang und Zusammensetzung der SiO2-Si-Grenzschicht bei der thermischen Oxidation

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Müller, Christian (VerfasserIn)
Format:	Mikrofilm Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	1977
Schlagworte:	Thermische Oxidation Silicium Siliciumdioxid Grenzschicht Hochschulschrift
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Aufbauvorgang und Zusammensetzung der Sio2-Si-Grenzschicht bei der thermischen Oxidation von Müller, Christian

Veröffentlicht 1977

Mikrofilm Buch