Herstellung, Aufbau, Eigenschaften und Anwendungsverhalten von metastabilen Schichten aus dem System Ti-Si-C-N

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Fella, Roland (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Karlsruhe Kernforschungszentrum 1992
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 5021
Schlagworte:	Dünne Schicht Hochschulschrift Titan-Silicium-Kohlenstoff-Stickstoff-System Titan-Silicium-Kohlenstoff-System
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