Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1989
|
| Schriftenreihe: | Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich
2321 |
| Schlagworte: | |
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Veröffentlicht 1989
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