Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1992
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
143 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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