Untersuchungen am anorganischen Photoresistsystem Silbersulfid/Germaniumsulfid zur Herstellung hochauflösender Zonenplatten für die Röntgenmikroskopie
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1991
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| Beschreibung: | V, 84 S. Ill., graph. Darst. |
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