Sputtering by particle bombardment 3 Characteristics of sputtered particles : technical applications
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Springer
1991
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| Schriftenreihe: | Topics in Applied Physics
64 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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