Ion implantation in semiconductors silicon and germanium

Ion implantation in semiconductors silicon and germanium

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Hauptverfasser: Mayer, James W. 1930-2013 (VerfasserIn), Eriksson, Lennart (VerfasserIn), Davies, John A. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: New York u.a. Acad. Pr. 1983
Schlagworte:
Halbleiter
Ionenimplantation
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Ion implantation in semiconductors, silicon and germanium

Ion implantation in semiconductors, silicon and germanium von Mayer, James W.

Veröffentlicht 1970
DE-1046
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Ion implantation in semiconductors silicon and germanium

Ion implantation in semiconductors silicon and germanium von Mayer, James W. 1930-2013, Eriksson, Lennart, Davies, John A.

Veröffentlicht 1970
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