Vacuum mechatronics first international workshop, Santa Barbara, CA 1989
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
1989
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| Schriftenreihe: | American Vacuum Society: American Vacuum Society series
7. American Institute of Physics <New York, NY>: AIP conference proceedings 192. |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | X, 167 S. Ill., graph. Darst. |
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| ISBN: | 0883183943 |