Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1988
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 08.
163. |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss. |
|---|---|
| Beschreibung: | 152 S. zahlr. graph. Darst. |
| ISBN: | 3181463086 |