The Si-SiO 2 system

Bibliographische Detailangaben

Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Amsterdam [u.a.] Elsevier 1988
Schriftenreihe:	Materials science monographs 32
Schlagworte:	Metal oxide semiconductors Silicon oxide Silicium Siliciumdioxid
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