Verfahren zur Bestimmung elektrischer Halbleiterparameter mit dem Raster-Elektronenmikroskop
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
1977
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 1977 |
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| Beschreibung: | 245 S. |