Homogene Belichtung mit Hilfe von Spiegeln in der Röntgenstrahllithographie mit Synchrotronhstrahlung experimentelle Unters. u. Modellbeschreibung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Mikrofilm Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1984
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| Schlagworte: | |
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