Selektive-Silizium-Niederdruckepitaxie

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Voss, Heinz-Jürgen (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Karlsruhe Fachinformationszentrum 1985
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1985,133
Schlagworte:	Selektive Epitaxie Silicium Epitaxie Niederdruckepitaxie
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