Crack Resistance of Diamond‐Like Carbon Coatings

Summary The aim of the current paper is the study of the crack resistance of diamond‐like carbon (DCL) coatings deposited by direct current magnetron sputtering (dcMS) and high‐power pulse magnetron sputtering (HPPMS) with different process parameters. For this purpose nanoindentation with a very hi...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2021-12, Vol.33 (6), p.36-42
Hauptverfasser:	Bobzin, Kirsten, Brögelmann, Tobias, Carlet, Marco, Kruppe, Nathan C., Engels, Martin, Arghavani, Mostafa
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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