Synthesis of Mono‐Imido Tungsten Complexes Directly from WCl6

A new series of tungsten complexes were prepared using WCl6, N‐tert‐butyltrimethylsilylamine, and amide ligands as potential precursors for WNx thin film deposition. The complexes [W(NtBu)(NMe2)4] (2), [W(NtBu)(MeNCH2CH2NMe)2] (3), [W(NtBu)(MeNCH2CH2CH2NMe)2] (4), [W(NtBu)(iPrNCH2CH2NiPr)2] (5), and...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ChemistrySelect (Weinheim) 2016-01, Vol.1 (1), p.44-48
Hauptverfasser:	George, Sheby Mary, Han, Jeong Hwan, Park, Bo Keun, Kim, Chang Gyoun, Jang, Hongseok, Lee, Kangyong, Yim, Sangjun, Lee, Sang‐ick, Kim, Myongwoon, Chung, Taek‐Mo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Imido Precursor Thin film Tungsten WNx
Online-Zugang:	Volltext
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