XRD, AFM and IR investigations of ordered AlGaAs2 phase in epitaxial AlxGa1-xAs/GaAs (100) heterostructures
The lattice constant of AlxGa1−xAs epitaxial alloys with various Al‐As(x) content is determined for AlxGa1−xAs/GaAs (100) heterostructures grown by MOVPE epitaxy using X‐ray diffractometry and X‐ray back‐reflections method. An ordered AlGaAs2 (superstructural) phase was found in epitaxial heterostru...
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Veröffentlicht in: | Surface and interface analysis 2006-04, Vol.38 (4), p.828-832 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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