Ein Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie

Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III‐V‐Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein großer Bedarf hins...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Chemie ingenieur technik 2006-06, Vol.78 (6), p.679-688
Hauptverfasser:	Brenner, G., Mukinovic, M., Mesic, E., Schmid, R., Tafipolsky, M., Khanderi, J., Fischer, R. A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Gasphasenreaktionen Halbleiter Prekursoren Simulation
Online-Zugang:	Volltext
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