Ion energy distribution functions in a dual-frequency low-pressure capacitively-coupled plasma: experiments and particle-in-cell simulation

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Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2021-07, Vol.30 (7), p.75031
Hauptverfasser:	Wang, Jun-Chieh, Tian, Peng, Kenney, Jason, Rauf, Shahid, Korolov, Ihor, Schulze, Julian
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	capacitively coupled plasma ion energy distribution function multi-frequency plasma particle-in-cell plasma model plasma modeling
Online-Zugang:	Volltext
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