Growth kinetics of the ferroelectric Al-doped HfO2 thin films via synergistic effect of various essential factors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Ceramics international 2021-02, Vol.47 (4), p.4674-4680
Hauptverfasser:	Mao, Yanhu, Zhang, Wanli, Cui, Lian, Tang, Minghua, Su, Pengyu, Long, Xiaojiang, Li, Gang, Xiao, Yongguang, Yan, Shaoan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Ferroelectric phase Growth kinetic Hafnium aluminium oxide Materials Science Materials Science, Ceramics Science & Technology Synergistic effect Technology The optimum preparation
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