Optical and electrical properties of TiO2/Au/TiO2 multilayer coatings in large area deposition at room temperature

TiO2/Au/TiO2 multilayer thin films were deposited at polymer substrate at room temperature using dc （direct current） magnetron sputtering method. By varying the thickness of each layer, the optical and electrical properties of the TiOz/Au/TiO2 multilayer films can be tailored to suit different appli...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Rare metals 2008-10, Vol.27 (5), p.457-462
Hauptverfasser:	ZHOU, J, WU, Z, LIU, Z
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	二氧化钛 光学特征 复合涂层 多层薄膜 电学性质 磁电管反应溅射法
Online-Zugang:	Volltext
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