退火气氛对ZnO:Al薄膜光学、电学和微结构的影响

TB34; 研究退火气氛对ZnO:Al(Al掺杂的ZnO,AZO)薄膜电学、光学、微结构和缺陷的影响.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、霍尔效应测试仪、紫外可见分光光度计、拉曼振动以及光致发光谱表征不同状态ZnO:Al薄膜的晶体结构、微观形貌、电阻率、透射率、拉曼振动和光致发光特性.结果表明:空气退火后,AZO薄膜的载流子浓度从1.63×1020 cm?3降低至7.1×1018 cm?3,光学禁带宽度从3.51 eV降低为3.37 eV,近红外透射率增加以及光致发光谱的带边发光峰位从3.49 eV红移至3.34 eV.氢气退火后AZO薄膜的载流子浓度升高至5.3×1020...

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Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	航空材料学报 2021-08, Vol.41 (4), p.134-140
Hauptverfasser:	郝常山, 彭晶晶, 雷沛, 钟艳莉, 张旋, 纪建超, 霍钟祺
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Online-Zugang:	Volltext
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