类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制

类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制

设计并制备了工作波长为4．48nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜。选择Cr／C、Cr／Sc为多层膜材料对，模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响。采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了Cr／C、Cr／Sc多层膜。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构，在德国BessyⅡ同步辐射上测量了多层膜的反射率，Cr／C，Cr／Sc多层膜峰值反射率分别为7．50％，6．12％。...

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Veröffentlicht in:光学仪器 2006, Vol.28 (4), p.146-149
1. Verfasser: 朱京涛 王蓓 徐垚 王凤丽 王洪昌 王占山 陈玲燕
Format: Artikel
Sprache:chi
Schlagworte:
X光激光
反射镜
同步辐射
多层膜
磁控溅射
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:设计并制备了工作波长为4．48nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜。选择Cr／C、Cr／Sc为多层膜材料对，模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响。采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了Cr／C、Cr／Sc多层膜。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构，在德国BessyⅡ同步辐射上测量了多层膜的反射率，Cr／C，Cr／Sc多层膜峰值反射率分别为7．50％，6．12％。
ISSN:1005-5630
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2006.04.030