用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

TG115.22%TG174.442; 介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径....

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Veröffentlicht in:Cai liao bao hu 2002, Vol.35 (5), p.27-29
1. Verfasser: 窦瑞芬 田林海 等
Format: Artikel
Sprache:chi
Schlagworte:
氮化钽薄膜
碳钢
空心阴极效应
网状阴极法
表面沉积
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Beschreibung
Zusammenfassung:TG115.22%TG174.442; 介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.
ISSN:1001-1560
DOI:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.010