Method for manufacturing piezoelectric element
HClHNO3 HCl HNO3 A manufacturing method of the present invention comprises the step of epitaxially growing a PZT layer on a first electrode layer, and the step of processing the PZT layer to a desired shape using an etching solution after the growing step. The etching solution contains at least one...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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