Gas discharge laser chamber

One aspect of the disclosed subject matter describes a gas discharge laser chamber. The gas discharge laser chamber includes a discharge region formed between a first electrode and a second electrode, a tangential fan for circulating gas through the discharge region, wherein the fan is proximate to...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Sandstrom, Richard L, Partlo, William N, Brown, Daniel J. W, Moosman, Bryan G, Chung, Tae H, Duffey, Thomas P, Ferrell, James J, Hilsabeck, Terance
Format:	Patent
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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