High-capacitance density thin film dielectrics having columnar grains formed on base-metal foils

Deposited thin-film dielectrics having columnar grains and high dielectric constants are formed on heat treated and polished metal foil. The sputtered dielectrics are annealed at low oxygen partial pressures.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Bao, Lijie, Li, Zhigang Rick, Reardon, Damien, Ryley, James F, Palanduz, Cengiz A
Format:	Patent
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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