Thin film capacitor

1 n 1 n A dielectric device having a dielectric layer and first to nth metal layers (where n is an integer of 2 or greater) in contact with the dielectric layer. At least one of the first to nth metal layers contains a base metal. Interfaces between the first to nth metal layers and the dielectric l...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Kakei, Shinichiro, Saita, Hitoshi, Koike, Kuniji, Horino, Kenji
Format:	Patent
Sprache:	eng
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