Method of forming Pr
X1-x3 A method of forming PrCaMnOthin films having a PMO/CMO super lattice structure using metalorganic chemical vapor deposition includes preparing organometallic compounds and solvents and mixing organometallic compounds and solvents to form PMO and CMO precursors. The precursors for PMO and CMO a...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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