Passivation scheme for oxide vertical cavity surface-emitting laser

A method for forming an oxide VCSEL (vertical cavity surface-emitting laser) includes forming a VCSEL structure, forming an oxidation cavity partially through the VCSEL structure, oxidizing a layer in the VCSEL structure, forming a first passivation layer over a surface of the oxidation cavity, and...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DeBrabander, Gregory N, Cheng, An-Nien, Xie, Suning, Widjaja, Wilson Hasan
Format:	Patent
Sprache:	eng
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