THIN FILM TRANSISTOR MANUFACTURE METHOD

A Thin Film Transistor (TFT) manufacture method, comprising manufacture of a gate, a gate isolation layer, a channel layer, and a source/drain. Wherein, the manufacture of the channel layer comprises: forming a first a-Si layer by using a low deposition rate (LDR) (Chemical Vapor Deposition, CVD); f...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HSU, YI-TSAI, LEE, YU-CHOU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!