Negative hydrocarbon species C2nH−: How useful can they be?
Time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) analyzes chemical information by measuring ions generated via bombardment of an energetic ion beam on the surface of a specimen. Negative hydrocarbon ion species of C2nH− are ubiquitous in TOF-SIMS for any hydrocarbon-containing materials, bu...
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| Veröffentlicht in: | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics Nanotechnology & microelectronics, 2016-05, Vol.34 (3) |
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| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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