Is chemical vapor deposition of monolayer WSe2 comparable to other synthetic routes?

Chemical vapor deposition (CVD) can produce wafer-scale transition-metal dichalcogenide (TMD) monolayers for the integration of electronic and optoelectronic devices. Nonetheless, the material quality of the CVD-grown TMDs still remains controversial. Here, we compare the quality of representative W...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:APL materials 2023-11, Vol.11 (11), p.111124-111124-8
Hauptverfasser: Choi, Soo Ho, Yang, Sang-Hyeok, Park, Sehwan, Cho, Byeong Wook, Nguyen, Tuan Dung, Kim, Jung Ho, Kim, Young-Min, Kim, Ki Kang, Lee, Young Hee
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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