Multiterminal epitaxial tungsten nanostructures on MgO/GaAs(001) substrates: Temperature effects in ballistic electron transport

High-quality single-crystalline multiterminal tungsten nanostructures were fabricated on MgO/GaAs (001) substrates using subtractive lithography. Single-crystalline tungsten films with a thickness of d = 80 nm and low roughness were grown using sequential epitaxy of MgO (001) and W (001) layers on G...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 2022-10, Vol.132 (16)
Hauptverfasser: Mikhailov, G. M., Chernykh, A. V., Malikov, I. V., Fomin, L. A.
Format: Artikel
Sprache:eng
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