Mechanical and Thermal Properties of W-Ta-B Coatings Deposited by High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS)
We present the deposition and characterization of tungsten-tantalum diboride (W,Ta)B coatings prepared by the high-power impulse magnetron sputtering technique. We evaluated the influence of pulse duration and substrate bias on the properties of (W,Ta)B films. A high hardness of up to 35 GPa measure...
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Veröffentlicht in: | Materials 2023-01, Vol.16 (2), p.664 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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