Stability under humidity, UV-light and bending of AZO films deposited by ALD on Kapton
Aluminium doped zinc oxide (AZO) films were grown by Atomic Layer Deposition (ALD) on yellow Kapton and transparent Kapton (type CS) substrates for large area flexible transparent thermoelectric applications, which performance relies on the thermoelectric properties of the transparent AZO films. The...
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Veröffentlicht in: | Scientific reports 2019-11, Vol.9 (1), p.17919-9, Article 17919 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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