Evaluation of Surface Cleaning Procedures for CTGS Substrates for SAW Technology with XPS

A highly efficient and reproducible cleaning procedure of piezoelectric substrates is essential in surface acoustic waves (SAW) technology to fabricate high-quality SAW devices, especially for new applications such SAW sensors wherein new materials for piezoelectric substrates and interdigital trans...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Materials 2017-11, Vol.10 (12), p.1373
Hauptverfasser:	Brachmann, Erik, Seifert, Marietta, Oswald, Steffen, Menzel, Siegfried B, Gemming, Thomas
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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