Solid-state densification of spun-cast self-assembled monolayers for use in ultra-thin hybrid dielectrics

[Display omitted] ► Rapid processing of SAM in ambient conditions is achieved by spin coating. ► Thermal annealing of a bulk spun-cast molecular film is explored as a mechanism for SAM densification. ► High-performance SAM-oxide hybrid dielectric is obtained utilizing a single wet processing step. U...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied surface science 2012-11, Vol.261, p.908-915
Hauptverfasser: Hutchins, Daniel O., Acton, Orb, Weidner, Tobias, Cernetic, Nathan, Baio, Joe E., Castner, David G., Ma, Hong, Jen, Alex K.-Y.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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