Solid-state densification of spun-cast self-assembled monolayers for use in ultra-thin hybrid dielectrics
[Display omitted] ► Rapid processing of SAM in ambient conditions is achieved by spin coating. ► Thermal annealing of a bulk spun-cast molecular film is explored as a mechanism for SAM densification. ► High-performance SAM-oxide hybrid dielectric is obtained utilizing a single wet processing step. U...
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Veröffentlicht in: | Applied surface science 2012-11, Vol.261, p.908-915 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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