Electromechanical performance of piezoelectric scanning mirrors for medical endoscopy
The electromechanical performance of piezoelectric scanning mirrors for endoscopy imaging is presented. The devices are supported by a single actuating cantilever to achieve a high fill factor, the ratio of mirror area to the combined mirror and actuator area. The largest fill factor devices (74%) a...
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Veröffentlicht in: | Sensors and actuators. A. Physical. 2012-05, Vol.178, p.193-201 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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