Self-separated PZT thick films with bulk-like piezoelectric and electromechanical properties
Self-separated Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT) films were processed by a hydrothermal deposition and a rapid thermal separation method, followed by a sol–gel filling and sintering process. The films possess excellent piezoelectric and electromechanical properties close to those of bulk material. The maximu...
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Veröffentlicht in: | Journal of materials research 2011-06, Vol.26 (11), p.1431-1435 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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