Low-charge-state ion production by a laser ion source for the TIARA ion implanter

Ion implanters require various kinds of heavy-ion beams in low-charge states for material science experiments. For this purpose, a laser ion source has been developed for the ion implanter at Takasaki Ion Accelerators for Advanced Radiation Application. In this study, we investigated the particle nu...

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Veröffentlicht in:Review of scientific instruments 2020-01, Vol.91 (1), p.013305-013305
Hauptverfasser: Yamada, K., Kashiwagi, H.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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