Resistivity of Thin Films of MoSi sub(2)-Si Composites
Thin films of the composite of molybdenum silicate (MoSi sub(2)) and silicon (Si) were fabricated by radio frequency magnetron sputtering using a target made of a powder mixture of MoSi sub(2) and Si. The composite thin film consisted of two types of molybdenum silicate with hexagonal and unknown cr...
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Veröffentlicht in: | Key engineering materials 2011-01, Vol.485, p.265-268 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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