Compositional characterization of nickel silicides by HAADF-STEM imaging

A methodology for the quantitative compositional characterization of nickel silicides by high angle annular dark field scanning transmission electron microscopy (HAADF-STEM) imaging is presented. HAADF-STEM images of a set of nickel silicide reference samples Ni 3 Si, Ni 31 Si 12 , Ni 2 Si, NiSi and...

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Veröffentlicht in:Journal of materials science 2011-04, Vol.46 (7), p.2001-2008
Hauptverfasser: Verleysen, E., Bender, H., Richard, O., Schryvers, D., Vandervorst, W.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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