New surface morphology for low stress thin-film-coated thermal neutron detectors

Experimental devices using patterns of holes etched into semiconductor surfaces are under evaluation for use as neutron detectors. The devices have miniature holes equidistantly spaced so as to completely cover the front surface of a planar semiconductor device. The devices have both electrical cont...

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Veröffentlicht in:IEEE transactions on nuclear science 2002-08, Vol.49 (4), p.1999-2004
Hauptverfasser: McGregor, D.S., Klann, R.T., Gersch, H.K., Ariesanti, E., Sanders, J.D., VanDerElzen, B.
Format: Artikel
Sprache:eng
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