Black luminescent silicon

Black silicon is a fascinating multipurpose modification of bulk silicon which can be fabricated in a selforganized structure formation process during dry etching of bare silicon wafer leading to the formation of a high density of silicon needles. The smallest dimension of the tips approaches values...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi. C 2011-03, Vol.8 (3), p.1021-1026
Hauptverfasser:	Pezoldt, Jörg, Kups, Thomas, Stubenrauch, Mike, Fischer, Michael
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	black silicon Cathodoluminescence dry etching Etching Fluorine High density Nanostructure Needles quantum confinement quantum wire Reproduction Silicon Silicon dioxide Silicon wafers Tips
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