Low-cost rapid miniature optical pressure sensors for blast wave measurements

This paper presents an optical pressure sensor based on a Fabry-Perot (FP) interferometer formed by a 45° angle polished single mode fiber and an external silicon nitride diaphragm. The sensor is comprised of two V-shape grooves with different widths on a silicon chip, a silicon nitride diaphragm re...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics express 2011-05, Vol.19 (11), p.10797-10804
Hauptverfasser:	Wu, Nan, Wang, Wenhui, Tian, Ye, Zou, Xiaotian, Maffeo, Michael, Niezrecki, Christopher, Chen, Julie, Wang, Xingwei
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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